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XDS100B渦旋式真空泵
分類: XDS系列渦旋干式真空泵  發布時間:2016-11-19 15:51 
XDS100B渦旋式真空泵
簡單介紹

在需要無油泵時,滾軸泵可出色地替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr,特別是采用了創新的軸承護罩,將真空環境與各種潤滑劑隔離開,使之不僅 完全干燥, 而且保護軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過可調氣囊實現;這使該系列的泵能夠應用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應用場合。 愛德華 XDS100B 渦旋式真空泵 干式渦旋泵 渦卷泵 干式真空泵 Edwards真空泵


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概述

XDS100B 是滾軸增壓泵,具備專門針對高抽速用途的泵送機械裝置。與所有增壓泵一樣,它需要與主泵一同使用,非常適合與 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滾軸泵搭配。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時,XDS100B 針對最大抽速進行了優化,因此非常適合超高吞吐量的 LCMS 應用。先進的泵設計使得末端密封磨損幾乎消失,也就減少了維修干預,盡可能延長正常運行時間。
變換器驅動允許泵連接到單相電源,控制著電機的特性,確保泵總是以優化速度運行,并使用戶可以對泵進行遠程控制。



技術

滾軸泵利用相互交錯的固定和軌道滾軸來產生非接觸式新月形氣泡,并通過軌道運行不斷對其進行壓縮。這意味著,與油密封旋轉泵不同,在泵移動量中不需要密封劑或潤滑劑

 

 


 


特點優勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑,完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長
無需更換潤滑油,也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數分鐘內完成,降低運行成本,盡可能延長正常運行時間
變換器驅動可使抽速穩定維持在 50/60Hz


技術參數


抽速

 

50 或 60Hz

95 m3h-1/56 ft3min-1

極限真空(總壓力)*

<1 x 10-2 mbar / <8 x 10-3 Torr

最大連續進氣口壓力

20 mbar/15 Torr

最大連續出口壓力

60 mbar / 45 Torr

短時內進氣口處的最大允許壓力

0.5 bar 表壓/7 psig

要從大氣抽空的最大真空腔體積

100 

用于循環負載的最大真空腔體積 – 最大為每小時 6

50 

電機功率

0.52 kW

標稱轉速

1750 rpm

重量

48 kg/105 lb

入口法蘭

NW40

排氣口法蘭

NW40

噪音級別

52.1 dB(A)

振動

<4.5mms -1 (rms)

密封性(靜態)

<1 x 10-6 mbar ls-1

工作溫度范圍

10 至 40 °C/50 至 104 °F

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