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Edwards適用于 LED 制造的重型真空泵和減排系統解決方案
來源: Edwards重型真空泵   發布時間:2016-11-19 11:21    次瀏覽   大小:  16px  14px  12px
適用于 LED 制造的重型真空泵和減排系統解決方案 相對于其他照明技術而言,LED 具有顯著 優勢,因而對 LED 的需求出

適用于 LED 制造的重型真空泵和減排系統解決方案

相對于其他照明技術而言,LED 具有顯著 優勢,因而對 LED 的需求出現了爆炸性增長。例如,與白熾燈泡相比,其使用 壽命長 10 倍,并且消耗的能量減少 四分之一。照明 可能性無窮無盡,尺寸越來越小,切換速度越來越快,輸出越來 越高,LED 制造商面臨既要滿足高制程需求,又要降低 制造成本的挑戰。 

較短波長的 LED(綠-藍)使用基于氮化物的 材料,而較長波長的 LED(紅-黃)使用基于磷化物的 材料。在真空泵和減排系統 選擇方面,每種材料都會造成獨特的制程挑戰,因為使用的 許多材料都特別有害或處理起來特別危險。 

我們在半導體領域積累的豐富經驗使得 我們在支持 LED 制造商在其制程中采用更多晶圓加工技術 (例如刻蝕、PECVD 和 ICP 芯片生產)方面具有 獨特優勢。我們的真空和減排 產品能夠在整個關鍵制程中高度安全、 有效地同時處理高的氫氣和氨氣 流速。 

LED 制造制程通常對高流量的輕氫和高度 腐蝕性的氨氣使用 MOCVD,我們的產品系列中 采用的先進技術已進行優化以滿足這些 挑戰。我們的 iH、iXH 和 iXL 干泵 系列均具有更高的粉末處理能力和高的腐蝕性 氣體耐受性,同時具有更小的占地面積和重量。最新的 STP maglev 渦輪分子 泵系列是緊湊型低功耗“一體化”解決方案,適用于 大容量、高流量應用。 

減排產品包括我們備受贊譽的 Spectra-G 3000,此產品 適合在 GaN 應用中處理高氣體容量,最多允許連接 六個 MOCVD 工具。為了 便于使用,在使用高氫氣流量的 GaAs 應用中得到 驗證的 Atlas™ 采用 Alzeta™ 內點火燃燒技術 以顯著降低擁有成本。我們的所有減排系統都能夠減輕運行過程中對環境 造成的影響,并可降低運營成本。 

隨著 LED 制造技術的發展,Edwards 也在 不斷發展,我們是關鍵發展動力,我們的產品在客戶走向成功的過程中 發揮了重要作用。我們的目標 是為客戶提供真實收益,從而讓未來世界變得 更清潔、更明亮。我們的應用專家可在 LED 制造制程的所有階段 為您建議最合適的產品以滿足您的需求。 

Edwards適用于 LED 制造的重型真空泵和減排系統解決方案